實驗名稱：功率放大器在重力(li)輔助式(shi)Z自由度壓(ya)電慣性雙向平順驅動研究中的應用

　　研究方向：精(jing)密(mi)驅動與定位

　　實驗內容：測試(shi)了其頻率特性(xing)、水平負載特性(xing)、位移曲線、電壓特性(xing)、分辨力(li)及其在顯(xian)微(wei)成像中的應用

　　測試(shi)目(mu)的(de)：研(yan)究所研(yan)制樣機(ji)輸出(chu)特性是否(fou)可以實現預期效果，探索(suo)其在金相及生物顯微成(cheng)像(xiang)之中的(de)應用效果。

　　測試設備：Aigtek  ATA-3080功率放大器

　　實(shi)(shi)(shi)驗過程:搭(da)建實(shi)(shi)(shi)驗系統進行輸出(chu)特性研(yan)究，如左圖所示。波形(xing)由(you)信號發生器(qi)（RIGOL，DG4162）產生，并由(you)功率放大器(qi)（Aigtek，ATA-3080）放大，之后(hou)對驅動器(qi)激勵。激光傳感器(qi)（KEYENCE，LKH020）測量(liang)速度和位(wei)移，將(jiang)實(shi)(shi)(shi)驗數據傳輸到計(ji)算機(ji)。光學顯微(wei)鏡（OM）的(de)行程一般在幾十毫米左右。所研(yan)制樣機(ji)具(ju)有長(chang)行程、高分辨(bian)率、自鎖(suo)等優點，有望為自動光學顯微(wei)鏡成像(xiang)提供解(jie)決方案。

　　所搭建(jian)的光(guang)(guang)學顯(xian)(xian)微系統配(pei)置如右圖所示(shi).顯(xian)(xian)微鏡用粘合劑粘在動子上。激光(guang)(guang)傳(chuan)(chuan)感器安裝在三維精密平臺上，然后聚焦在顯(xian)(xian)微鏡的末(mo)端以測量其運動。光(guang)(guang)學顯(xian)(xian)微系統用于生(sheng)物和金相(xiang)顯(xian)(xian)微成(cheng)像(xiang)。與(yu)此(ci)同時，數據被(bei)傳(chuan)(chuan)輸至電子設備。

　　測試結果:即(ji)使運(yun)動物體自(zi)重相(xiang)當于(yu)1.35N（超過(guo)當前功的3.3倍）的負(fu)載推力(li)下(xia)，雙(shuang)向位(wei)移線性擬(ni)合相(xiang)關系數R2在重力(li)輔助下(xia)也能達到0.9999。最大前進速度和(he)分(fen)辨率分(fen)別(bie)達到304.73mm/s和(he)5.3nm。這種新(xin)穎的設計思(si)想特別(bie)適合Z自(zi)由度驅動，并已(yi)成(cheng)功應(ying)用于(yu)顯微成(cheng)像。

　　ATA-3080功率放大器

帶寬：（-3dB）DC~100kHz

　　電(dian)壓：180Vp-p(±90Vp）

　　電流：8Ap

　　功率：720Wp

　　壓擺率：≥40V/μs

　　可程控

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