實驗名(ming)稱：基于MEMS工藝(yi)柔性基底磁通門傳感器性能測(ce)試與分析(xi)

本文主要搭建了一套磁通門性能測試系統，主要測試設備有：信號發生器、功率放大器、磁強計、電流表、磁通門傳感器、示波器等。

磁(ci)通門傳感(gan)器測試系統：

激勵信號由任意信號發生器33220A和ATA-4011B高壓功率放大器串聯產生。任意信號發生器可產生正弦波、方波、三角波、鋸齒波，也可以通過程序控制產生特殊形狀的波形。功率放大器ATA-4011帶寬可達到1MHz，最大提供2.82App的電流值，滿足測量需求。

為了(le)測量激勵(li)電(dian)流有效值，在激勵(li)電(dian)路上串(chuan)聯一(yi)(yi)個電(dian)流表，當磁通門傳感(gan)器(qi)作為磁場(chang)傳感(gan)器(qi)時，被測磁場(chang)由直流電(dian)源激勵(li)一(yi)(yi)個螺線(xian)管(guan)產生，為了(le)標(biao)定被測磁場(chang)的大小，在螺線(xian)管(guan)前串(chuan)聯一(yi)(yi)個電(dian)流表測試螺線(xian)管(guan)電(dian)流。

基(ji)于MEMS工(gong)藝(yi)的柔性基(ji)底磁通(tong)門磁場傳(chuan)感(gan)器

當磁通門作為電(dian)流傳(chuan)感器(qi)時，將柔(rou)性(xing)基(ji)底磁通門傳(chuan)感器(qi)粘貼在一個圓柱形的支撐(cheng)骨架上，使柔(rou)性(xing)基(ji)底傳(chuan)感器(qi)鐵芯(xin)兩端(duan)(duan)緊挨以使磁路閉合(he)，并將被(bei)測電(dian)流穿過(guo)支撐(cheng)骨架中心。被(bei)測電(dian)流用直(zhi)流電(dian)源(yuan)提供，并串聯一個電(dian)流表用于標定被(bei)測電(dian)流值，在磁通門的感應線(xian)圈兩端(duan)(duan)接示波(bo)器(qi)對輸出信號進行分析(xi)。

基(ji)于MEMS工藝的柔性基(ji)底(di)磁通門電流傳感器

ATA-4011高壓功率放大器產品介紹：

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