MEMS即微機電系統（Micro Electromechanical System），是一種在微米級別設計的微型機械系統，包括微傳感器、微執行器、信號處理和控制電路等組成部分。MEMS技術是通過在半導體材料上加工微米級別的機械結構，實現機械運動的微型化。其基本原理是利用材料的機械特性，通過電磁場、電場或熱場等物理場的作用，實現機械結構的運動和控制。那么超聲功率放大器在MEMS微機電系統，及光學研究中具體起到了什么作用？今天Aigte安泰電子帶大家揭秘。

　　MEMS微(wei)(wei)機(ji)電系統(tong)的(de)(de)原理可以追溯到20世紀80年代，當時主要是為了實現(xian)小型化(hua)的(de)(de)軍用傳(chuan)感器。隨(sui)著半導體制造技(ji)術的(de)(de)發展，MEMS技(ji)術不斷進(jin)步，現(xian)已廣泛應(ying)用于許多領(ling)域，如汽車、醫療、消費電子、航空航天等(deng)。其(qi)中(zhong)，在光學(xue)研究領(ling)域中(zhong)，MEMS微(wei)(wei)機(ji)電系統(tong)也有著廣泛的(de)(de)應(ying)用。

　　在光學(xue)研究(jiu)領域中(zhong)，MEMS微機電系統可以用(yong)于制(zhi)造光開關、光衰減器、光調制(zhi)器等(deng)光學(xue)器件(jian)。這些器件(jian)在光通信、光信號處理等(deng)領域中(zhong)具(ju)有重要(yao)的作用(yong)。下(xia)面以光開關為例，簡單介(jie)紹一下(xia)MEMS微機電系統的應用(yong)。

　　光(guang)開關(guan)是一種用于光(guang)通(tong)(tong)信的(de)(de)光(guang)學(xue)器件，可以實(shi)現(xian)光(guang)路的(de)(de)切(qie)換和(he)選擇。MEMS光(guang)開關(guan)采(cai)用微機(ji)械(xie)結構，通(tong)(tong)常是在硅片(pian)上加工出微型(xing)的(de)(de)反(fan)射鏡，通(tong)(tong)過電磁場的(de)(de)作用，控制反(fan)射鏡的(de)(de)運(yun)動，從(cong)而實(shi)現(xian)光(guang)路的(de)(de)切(qie)換。MEMS光(guang)開關(guan)具有體積小、速度快、可靠(kao)性(xing)高等優點(dian)，能(neng)夠(gou)顯著提高光(guang)通(tong)(tong)信系統的(de)(de)性(xing)能(neng)和(he)穩定性(xing)。

　　此(ci)外，MEMS還被應用于光學掃描儀

　　隨著(zhu)信息技(ji)(ji)術(shu)、光(guang)(guang)(guang)通(tong)信技(ji)(ji)術(shu)的迅猛發(fa)展，MEMS發(fa)展的又一(yi)領域是與(yu)光(guang)(guang)(guang)學相結合，即綜(zong)合微電(dian)(dian)子(zi)、微機械、光(guang)(guang)(guang)電(dian)(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)等基礎技(ji)(ji)術(shu)，開發(fa)新(xin)型光(guang)(guang)(guang)器件，稱為(wei)微光(guang)(guang)(guang)機電(dian)(dian)系統(tong)(MOEMS)。它能把各(ge)種MEMS結構件與(yu)微光(guang)(guang)(guang)學器件、光(guang)(guang)(guang)波導器件、半導體激光(guang)(guang)(guang)器件、光(guang)(guang)(guang)電(dian)(dian)檢測器件等完整地集成在(zai)(zai)一(yi)起(qi)。形成一(yi)種全新(xin)的功能系統(tong)。MOEMS具有體積小、成本低、可批量生產、可精(jing)確驅動和(he)控制(zhi)等特點。較成功的應用科(ke)學研究(jiu)主要(yao)集中在(zai)(zai)兩個方面:

　　一是基(ji)于(yu)MOEMS的(de)新型顯示(shi)、投影設備，主要研究(jiu)如何通(tong)過反射(she)面(mian)的(de)物理(li)(li)運(yun)動(dong)(dong)來(lai)進行光(guang)的(de)空間調(diao)制，典型代(dai)表為數字微(wei)鏡(jing)陣列芯片和(he)光(guang)柵光(guang)閥:二是通(tong)信(xin)系統(tong)，主要研究(jiu)通(tong)過微(wei)鏡(jing)的(de)物理(li)(li)運(yun)動(dong)(dong)來(lai)控制光(guang)路發生預(yu)期的(de)改(gai)變(bian)，較成(cheng)功的(de)有光(guang)開(kai)關調(diao)制器(qi)、光(guang)濾(lv)波器(qi)及(ji)復用器(qi)等光(guang)通(tong)信(xin)器(qi)件。MOEMS是綜合性和(he)學(xue)科交叉性很強的(de)高新技術(shu)(shu)，開(kai)展這個(ge)領域的(de)科學(xue)技術(shu)(shu)研究(jiu)，可以帶(dai)動(dong)(dong)大量的(de)新概念(nian)的(de)功能器(qi)件開(kai)發。

　　ATA-3090B功率放大器

　　這(zhe)是一款理想的可放大(da)交(jiao)、直流信(xin)號(hao)的超(chao)聲功(gong)率(lv)放大(da)器(qi)(qi)。最大(da)輸出810Wp功(gong)率(lv)，可以驅動功(gong)率(lv)型負(fu)載。增益數控可調(diao)，一鍵保(bao)存常用設置，為您提供(gong)了方(fang)便簡潔的操作選(xuan)擇(ze)，可與主流的信(xin)號(hao)發生器(qi)(qi)配套(tao)使(shi)用，實現(xian)信(xin)號(hao)的放大(da)。在(zai)MEMS相(xiang)關測試中有著良好應(ying)用。

　　帶寬：（-3dB）DC~100kHz

　　電(dian)壓(ya)：90Vp-p（±45Vp）

　　電流：18Ap

　　功率：810Wp

　　壓擺率(lv)：≥20V/μs

　　可程控

　　綜(zong)上所述，MEMS微機電系統在(zai)光學(xue)研究領(ling)域(yu)中具有(you)廣泛的應用前(qian)景。隨著半導體制造技(ji)術(shu)的不斷(duan)進步(bu)和(he)光學(xue)技(ji)術(shu)的不斷(duan)發(fa)(fa)展，MEMS微機電系統在(zai)未來還可(ke)能實(shi)現(xian)更(geng)多的創新和(he)突破，為光學(xue)領(ling)域(yu)的發(fa)(fa)展做出更(geng)大(da)的貢(gong)獻。

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