近年來，激光技術、微納加工技術、生物傳感技術等系列新興技術的迅速發展，推動微流控芯片技術不斷取得新的進展。微流控芯片是一種將微小液滴、細胞、粒子等進行微小操作的芯片，已經在藥物篩選、病毒檢測、細胞捕獲和分離等多個領域得到應用。其中，MEMS技術是微流控芯片中不可或缺的技術之一，同樣作為微流控系統驅動時必不可少的驅動源，功率放大器在在MEMS微流控系統中也有著良好的應用，今天Aigtek安泰電子就給大家講講。

　　本(ben)文將(jiang)探討MEMS技(ji)術在微流控芯片中的應用。

　　MEMS器件有著廣泛的(de)(de)用途，主要分為傳感器和執(zhi)行器（致動器）兩大(da)類。前(qian)面(mian)我們提到的(de)(de)都是屬于(yu)MEMS傳感器，微流(liu)控系統、射頻MEMS、MEMS噴墨打印頭、DMD(數字微鏡器件)等(deng)則(ze)屬于(yu)執(zhi)行器，是MEMS器件的(de)(de)重要組成。

　　MEMS微流(liu)控(kong)(kong)（microfluidics）系統(tong)，就是(shi)一(yi)種流(liu)量控(kong)(kong)制(zhi)，是(shi)精確控(kong)(kong)制(zhi)和操控(kong)(kong)液體(ti)流(liu)動的(de)裝置，使用(yong)幾(ji)十(shi)到幾(ji)百微米尺度的(de)管道(dao)，一(yi)般針(zhen)對(dui)微量流(liu)體(ti)，用(yong)于生物醫藥診斷領(ling)域的(de)高(gao)精度和高(gao)敏感(gan)度的(de)分(fen)離和檢測，具(ju)有(you)樣品消(xiao)耗少(shao)、檢測速度快、操作簡便、多功能集成(cheng)、體(ti)小和便于攜帶等(deng)優點(dian)。

　　MEMS微(wei)(wei)流控是純粹的(de)機(ji)械結(jie)構，制(zhi)作微(wei)(wei)流控芯(xin)片的(de)主要材(cai)料包括硅(gui)、玻(bo)璃(li)、石英(ying)、高聚物、陶瓷(ci)、紙等(deng)。MEMS微(wei)(wei)流控芯(xin)片，直白點說，就是在(zai)一片很小的(de)玻(bo)璃(li)流道上(shang)進行生物化學反應，用(yong)芯(xin)片進行計算，用(yong)傳感器傳遞信號。

　　下圖是(shi)(shi)微流(liu)控芯(xin)片(pian)(pian)的結構示例，可(ke)以看到玻璃管道，微流(liu)控芯(xin)片(pian)(pian)又被稱為“芯(xin)片(pian)(pian)實驗室”，在基因測序等許多方面有廣闊應用前(qian)景(jing)(jing)，是(shi)(shi)一種極(ji)具前(qian)景(jing)(jing)的生物傳感(gan)器。

　　下圖為(wei)流(liu)體在微管道(dao)中流(liu)動(dong)、捕捉的(de)動(dong)態過程。

　　ATA-2048高壓放大器

　　帶寬：（-3dB）DC~1MHz

　　電(dian)壓：400Vp-p（±200Vp）

　　電(dian)流：80mAp

　　功率：16Wp

　　10mV/V電壓監(jian)測

　　可程控

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