實驗名稱：基于單端(duan)接觸原理的LED外延(yan)片無損檢測(ce)

　　實驗內容：基于(yu)單注入(ru)模式，使用新型(xing)檢測系統獲(huo)取LED外(wai)延片(pian)的電學參數與光(guang)學參數。

　　研究方向：LED外延片檢測

　　測試設備：光譜儀、函數信號發生器(qi)(qi)、ATA-2161高壓放大器(qi)(qi)、顯微鏡(jing)及成(cheng)像系統、示波器(qi)(qi)、電腦等。

　　實驗過程：

　　圖(tu)1：實驗裝置原理圖(tu)

　　首先對LED外(wai)延(yan)(yan)片進行光(guang)致發光(guang)（PL）測(ce)(ce)試(shi)，通(tong)過光(guang)譜(pu)儀(yi)獲(huo)取(qu)峰值波(bo)長。然后(hou)(hou)，將(jiang)測(ce)(ce)試(shi)設備(bei)按圖1所示連接完(wan)畢后(hou)(hou)，將(jiang)待(dai)測(ce)(ce)LED外(wai)延(yan)(yan)片放(fang)置在ITO玻璃上，緩慢下降探針，直(zhi)至LED外(wai)延(yan)(yan)片產生電致發光(guang)現象。通(tong)過光(guang)譜(pu)儀(yi)獲(huo)取(qu)峰值波(bo)長，示波(bo)器獲(huo)取(qu)電學(xue)參(can)數(shu)。最后(hou)(hou)，使用傳統的電致發光(guang)（針測(ce)(ce)）對LED外(wai)延(yan)(yan)片進行測(ce)(ce)試(shi)。在保證光(guang)譜(pu)儀(yi)軟件(jian)顯示的相對強(qiang)度在一致或(huo)接近時，獲(huo)取(qu)LED外(wai)延(yan)(yan)片的電學(xue)參(can)數(shu)和光(guang)學(xue)參(can)數(shu)。

　　實驗結果：

　　圖2：SC-EL所獲(huo)得(de)的光(guang)學(xue)參(can)數與針(zhen)測所獲(huo)得(de)的光(guang)學(xue)參(can)數

　　圖3：SC-EL所獲(huo)得(de)的光(guang)學參數與針測所獲(huo)得(de)的光(guang)學參數

　　由(you)于(yu)針(zhen)測(ce)獲(huo)得的(de)(de)數(shu)(shu)據(ju)(ju)最具有可(ke)靠性，因此將其作為標準(zhun)值來比較PL測(ce)試與單端接(jie)觸電(dian)致發光（SC-EL）測(ce)試所(suo)獲(huo)得數(shu)(shu)據(ju)(ju)的(de)(de)準(zhun)確性。實驗結果表(biao)明，SC-EL所(suo)獲(huo)得的(de)(de)光學(xue)參(can)數(shu)(shu)與針(zhen)測(ce)所(suo)獲(huo)得的(de)(de)光學(xue)參(can)數(shu)(shu)更加接(jie)近(jin)并且不會(hui)對LED外延片造成機械性損傷（如圖(tu)2、圖(tu)3所(suo)示(shi)）。此外，SC-EL所(suo)獲(huo)取的(de)(de)電(dian)學(xue)參(can)數(shu)(shu)與針(zhen)測(ce)所(suo)獲(huo)取的(de)(de)電(dian)學(xue)參(can)數(shu)(shu)（反向(xiang)漏電(dian)流）具有同樣的(de)(de)趨勢，可(ke)以反映針(zhen)測(ce)所(suo)獲(huo)取數(shu)(shu)據(ju)(ju)的(de)(de)水平（如圖(tu)4所(suo)示(shi)）。

　　圖4：針測所獲(huo)取數據的水平

　　高(gao)壓放大器推薦：ATA-2161

　　圖：ATA-2161高壓放大器指標參數

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