MEMS（微(wei)機(ji)電系統）技術的(de)不斷發(fa)展(zhan)，目(mu)前已(yi)經廣泛(fan)應用在生物、航(hang)空(kong)、醫學、航(hang)天等多領域。MEMS傳感器(qi)即(ji)微(wei)機(ji)電系統（Micro-electro Mechanical Systems），是指(zhi)精(jing)密機(ji)械系統和微電子(zi)電路技術(shu)結合發展出來的(de)一項工程(cheng)技術(shu)，它的(de)尺寸(cun)一般在微米(mi)量級。

圖(tu)：MEMS微機電系統示意圖

　　MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術，包(bao)括SIP（系統(tong)級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三(san)維硅穿孔（TSV）等技術，采用三(san)維堆疊(die)技術，能夠(gou)把微型(xing)化后的(de)傳感器機(ji)械部件(jian)和其他微電子組件(jian)集成，依據(ju)不同(tong)(tong)的(de)應用來選擇不同(tong)(tong)的(de)封裝形式。

　　對于大部分(fen)的MEMS傳感器來說，想讓它正常使用和發揮功效，就要通過內部可動微結構在適當范圍內進行變形和位移來實現，所以對MEMS進行模態測試就要讓其振動，也就是需要進行激勵。

　　對于(yu)MESM模態測試的激勵方法包括磁激勵、熱激勵、靜電激勵、壓電激勵、聲激勵以及基于壓電陶瓷的底座激勵。

　　對(dui)于MEMS的多種激勵方法，選擇合適的激勵裝置是非常重要的。安泰超聲功率放大器最大輸出電壓10kV，最大輸出電流64Ap，最大輸出功率10kW，電壓增益數控可調，能夠滿足不同的激勵指標需求。

　　超(chao)聲功率放大(da)器在MEMS超聲測試的工作原理：

　　高頻MEMS核心器件主要是壓電控制器件，利用其壓電效應和逆壓電效應來實現機械能和電能的轉換，通過壓電控制器件在高頻電信號激勵下產生高頻振動，從而激發出超聲波，使用壓電控制器件接收超聲波轉化成電信號，實現超聲信號的轉化。

　　高頻MEMS一般是激振蕩式驅動，通過方波或者脈沖振動器激勵，由于高頻MEMS需要1MHz以上的電流以及30Vp-p的電壓，而信號發生器的輸出電壓較低，帶負載能力較弱，所以需要搭配超聲功率放大器來進行實驗測試。

　　安泰推薦：ATA-2041高壓放大器

圖：ATA-2041高壓放大器指標參數

　　安泰超(chao)聲功率放大器(qi)還(huan)可以利用(yong)高電壓、高帶(dai)寬(kuan)等指標來驅動各(ge)種高頻MEMS器件，多種功率和激勵波形都可以根據應用需要來進行針對性的定制。此外，超聲功率放大器廣泛應用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉，無線電能傳輸等研究領域，滿足更多更復雜的測試需求。

　　以上就是(shi)安泰(tai)電子帶來的超聲功率放大器在MEMS超聲測試中的應用內容，相信大家對于功率放大器有了一定認識和了解。如果對于功率放大器還有什么不清楚的，歡迎咨詢安泰電子。西安(an)安(an)泰電子是專(zhuan)業(ye)從(cong)事功(gong)率放大器、高壓(ya)放(fang)大器、功率信(xin)號源、前置微小(xiao)信號放大器、高精度電壓源、高精度電流源等電子測量儀(yi)器(qi)研發、生(sheng)產和銷售的高科技企業。