實驗名稱：基(ji)于積分器的壓電陶瓷執行器位(wei)移自感知的實驗(yan)驗(yan)證

　　測試設備：電(dian)壓放大器(qi)(qi)、壓電(dian)陶瓷執(zhi)行器(qi)(qi)、積分器(qi)(qi)、電(dian)容位移傳感器(qi)(qi)、低通(tong)濾波器(qi)(qi)、計算機等(deng)。

　　實驗過程：

　　圖1：基于(yu)積分器的壓電(dian)陶瓷執(zhi)行器位移自感知實驗系統

　　實驗(yan)系統如圖1所示，由(you)計算(suan)機、A/D及D/A數據采集卡(ka)、電壓(ya)(ya)放(fang)大(da)器(qi)(qi)、二級隔振工作臺、壓(ya)(ya)電陶瓷(ci)執行器(qi)(qi)、積分(fen)器(qi)(qi)、放(fang)電回路、電容(rong)(rong)位移(yi)傳感器(qi)(qi)、減(jian)法放(fang)大(da)器(qi)(qi)、低(di)通(tong)濾波器(qi)(qi)組成。其(qi)中銅片、電容(rong)(rong)位移(yi)傳感器(qi)(qi)、減(jian)法放(fang)大(da)器(qi)(qi)、低(di)通(tong)濾波器(qi)(qi)構成獨立的(de)(de)測(ce)試(shi)系統，用來同基于積分(fen)器(qi)(qi)的(de)(de)壓(ya)(ya)電陶瓷(ci)位移(yi)自感知執行器(qi)(qi)的(de)(de)感知結果進行比(bi)較。

　　實驗結果：

　　圖2：驅動電壓波形不同(tong)時積分(fen)器檢(jian)測的(de)電荷和電容位(wei)移(yi)傳感器檢(jian)測的(de)位(wei)移(yi)

　　圖2（a）一2（f）示出(chu)了(le)驅動頻率為5Hz、驅動電壓為幅值衰減(jian)的正弦波(bo)、幅值衰減(jian)的三角(jiao)波(bo)和(he)(he)任意波(bo)形時，積分器檢測的電荷和(he)(he)電容位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器檢測的位(wei)(wei)移(yi)。

　　由圖2各(ge)圖可見(jian)，積分器(qi)(qi)和電(dian)渦流位移傳感器(qi)(qi)各(ge)自獨立獲得的執行器(qi)(qi)位移曲線的一致(zhi)性較好(hao)。可見(jian)，基于積分器(qi)(qi)的自感知方法能(neng)夠很好(hao)地檢測出壓電(dian)陶瓷執行器(qi)(qi)的位移信號。

　　電壓放大器推薦：ATA-2161

　　圖：ATA-2161高壓放大器指標參數

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