實驗名稱：壓電薄(bo)膜變形鏡(jing)加工(gong)及閉環實(shi)驗

　　測試設備：高壓放大器、波(bo)前傳感器、壓電薄膜變(bian)形鏡等。

　　實驗過程：

　　圖(tu)1：（a）加工變(bian)形鏡的示(shi)意圖(tu)（b）變(bian)形鏡實(shi)物圖(tu)

　　根據優化設計加工了尺(chi)寸為(wei)100*100mm的壓(ya)(ya)電(dian)(dian)(dian)薄膜變形鏡，如圖(tu)1所(suo)示，襯底層厚度為(wei)5mm，壓(ya)(ya)電(dian)(dian)(dian)層厚度為(wei)0.4mm，電(dian)(dian)(dian)極(ji)分布為(wei)8*8，單個電(dian)(dian)(dian)極(ji)尺(chi)寸9*9mm。

　　由于基底(di)與陶瓷片粘結、電(dian)極分(fen)割(ge)等工(gong)藝過程會引入(ru)頻率較(jiao)高、梯度較(jiao)大的面形(xing)變化，需(xu)要將粘結和電(dian)極分(fen)割(ge)過程提前到(dao)冷(leng)加(jia)工(gong)之前。此外，為了保證面形(xing)的穩定性(xing)，在冷(leng)加(jia)工(gong)前需(xu)要加(jia)入(ru)退應力的工(gong)藝環節，加(jia)工(gong)出來的PFDM樣件如(ru)圖(tu)1（b）所示。

　　圖2：（a）100*100mm單元PFDM樣件實物照(zhao)片（b）100V驅(qu)(qu)動電壓下測量得(de)到64個(ge)驅(qu)(qu)動單元的(de)響應函數

　　搭(da)建實(shi)(shi)如圖(tu)2（a）所示的(de)(de)實(shi)(shi)驗平臺，依(yi)次對64個驅動(dong)單元(yuan)施加100V電壓，獲得個64驅動(dong)單元(yuan)的(de)(de)響應函(han)數，如圖(tu)（b）所示，響應函(han)數的(de)(de)一(yi)致(zhi)性較好。配(pei)套相應的(de)(de)高壓放大器、波(bo)前(qian)傳(chuan)感器及閉(bi)(bi)環控制軟件開(kai)展了(le)聯機(ji)波(bo)前(qian)閉(bi)(bi)環校正實(shi)(shi)驗。閉(bi)(bi)環校正前(qian)的(de)(de)波(bo)前(qian)畸變(bian)P_V值為(wei)2.64λ、RMS為(wei)0.56λ，閉(bi)(bi)環校正后的(de)(de)波(bo)前(qian)畸變(bian)P_V值為(wei)0.36λ，RMS為(wei)0.1λ，閉(bi)(bi)環效果較好，如圖(tu)3（a）和（b）所示。

　　圖(tu)3：（a）閉環校正前波(bo)前畸變P_V值為2.64λ、RMS為0.56λ。（b）閉環校正后波(bo)前畸變P_V值為0.36λ，RMS為0.1λ

　　實驗結果：

　　對壓電(dian)薄(bo)膜變(bian)形鏡(jing)樣(yang)件進(jin)行了(le)實驗研究，閉(bi)環效果較好，對響函做本征模式(shi)分析(xi)，認為變(bian)形鏡(jing)在材料選擇、加(jia)工工藝及裝夾(jia)方式(shi)等方面(mian)還存在一定(ding)的改進(jin)余(yu)地。

　　?高壓放大器推(tui)薦：ATA-7030

　　圖：ATA-7030高壓放大器指標參數

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